空气过滤器是最早为人类呼吸保护用具而被开发的，第一次世界大战期间， 出现了以石棉纤维为滤料的防毒气面具。后来美国成立了专门的过滤纸发开组， 开发出木纤维、石棉、描画的混合纤维滤料。随后以玻璃纤维为滤材的高效过滤器（High Efficiency particle air filter）在美国问世，用于房间的空气净化。 70 年代，采用超细玻璃纤维过滤材料的高效过滤器（HEPA）对大于等于 0.3 μm 的威力过滤效率高达 99.9998%。随着大规模集成电路的发展，日本又开发出针对0.1μm 的微粒的超高效过滤器，其过滤效率达到了99.9995%以上。美国IEST 把该过滤器命名为 ULPA。和 HEPA 相比，ULPA 过滤效率更高。ULPA 过滤纸的研制成功和开发利用，为集成电路、自动化仪表和航天航空等尖端技术的飞跃发展， 提供了对所需空气进行高度净化的工作环境。 高效过滤器种类繁多，各个国家、各个机构对高效过滤器的分类标准也不尽相同。常用的标准中过滤器效率的分类及相互的比较如图 所示。 

 各标准空气过滤器效率规格比较 

 根据《GB/T 13554-2008 高效空气过滤器》高效过滤器根据效率不同分为高效空气过滤器、超高效空气过滤器。钠焰法检测过滤效率在 99.9%~99.999%之间的空气过滤器为高效过滤器，效率超过 99.999%的过滤器为超高效过滤器。大部分高效过滤器都是用在生物安全柜和洁净室上，所以高效过滤器检漏检测是和有必要的！ 

高效过滤器的结构不同，分为有隔板过滤器和无隔板过滤器。如图 所示，滤芯按照所需深度将滤料往返折叠，在被折叠的滤料之间用波纹装的分隔板支撑着，形成空气通道的过滤器为有隔板过滤器。而过滤器按照所需深度往返折叠，被折叠的滤料之间用线装粘结剂或者其他支撑物支撑着，形成空气通道的过滤器为无隔板过滤器。